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shield chamber室温の変動について
1.対象の装置：
試運転完了日：
2.温度異常発生日時：
温度異常の状況：
①水温制御の一時的な変動により、chamber内の温度変動が起きた。
②ポンプユニット内のtwo-way valveから、異音と黒い粉が確認された。
③温度履歴グラフ及び客先の目視により、two-way valveの急激で連続的なon-off動作が確認された。
３．原因
①いただいた資料を検討した結果、two-way valveに何らかのトラブルが発生し、two-way valveのon-off動作の制御が一時的に出来ない現象が発生したものと考える。
②黒い粉についてはtwo-way valveの動作過多によるMotorのabrasion powder、又はMotor gearのabrasion powderと考えられる。
③初期のバルブコントローラーのPID制御設定が、工場設備の増設による供給水の量、圧力、温度等の変化に追随できなかった可能性がある。
4.対策
①two-way valveを交換し、PIDの再調整(オートチューニングにて可能)を行う必要があると考える。
②two-way valveの損傷原因究明のためには、取り外したtwo-way valveをメーカーにて検査することが必要と考える。