コプラナリティ検査装置は、非接触でガラス面を基準としたガラス面からワークの浮き量を計測できる装置です。
基本構造の小型化を行い検査アルゴリズムも最適な検査プログラムを用いて、インラインで対応可能なコプラナリティ検査にご使用いただけます。
●位相シフト法を用いた高速形状測定
●今まで見れなかった樹脂の反りやうねりも同時に測定
●ガラス接地箇所をすばやく把握
●樹脂、金属などの異なる材質も視野内なら同時に測定
●リードピッチ間測定などの2次元検査も同時に検査
Coplanarity inspection device which can measure the floatation volume of the work from the glass surface relative to the glass surface without contact.
As the small size of the basic structure and and optimum inspection program based on inspection algorithms, you can have a coplanarity inspection in-line.
● High-speed shape measurement using the phase shift method
● Swell and warp of the resin can’t be observed until now which can be measured at the same time
● Quickly understand the glass ground point
● Different materials (resin, metal, etc.) in the view field can be measured at the same time
● 2D tests such as lead pitch test can be measured at the same time
